产业结构调整指导目录-广西投资近2000亿元实施“千企技改”，玉林有3

介绍含氟蚀刻气体的类型和介绍

#四氟化碳#

目前，氟化蚀刻气体是一种隐形的“工具”，广泛应用于半导体或LCD前端工艺，甚至可以在微米厚的薄层上切割纳米槽。你能仔细想想这幅画吗？

那氟化蚀刻气体是什么呢？它们是如何工作的？

用于蚀刻的气体称为蚀刻气体，通常是氟化物气体，如四氟化物、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。

氟蚀刻气体是电子气体的重要分支，是制造大型集成电路、平面显示器、太阳能电池、玻璃纤维等电子工业不可或缺的原材料。广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积和扩散等半导体工艺中。国家发改委《产业结构调整指导目录(2011年版)》(修订版)将电子气体列入国家重点产品和行业目录。

蚀刻方法包括湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。

干法蚀刻因其方向性强、工艺控制准确、方便、无解毒、无衬底损伤和杂质而得到越来越多的应用。

蚀刻是蚀刻基板上未被光刻胶覆盖的加工表面的过程，如氧化硅膜、金属膜等，以获得被光刻胶覆盖的区域，从而在基板表面获得所需的成像图案。蚀刻的基本要求是图案边缘干净，线条清晰，图案变换差异小，光刻胶膜及其覆盖保护表面无损坏和钻孔侵蚀。

广西投资近2000亿元实施“千企技术改革”

近日，广西工业和信息化厅发布了2023年自治区首批“千企技术改造”项目计划，共634项，总投资1949亿元。根据相关通知，自治区本级财政将对这些项目给予最高不超过1000万元的补贴。

资料图。

第一批“千企技改”项目总投资1949亿元

近日，广西工业和信息化厅发布了2023年第一批自治区“千企技改”项目计划，总投资1949亿元，2023年计划投资520亿元，其中自治区重大技术改造项目364个，2023年计划投资472亿元。

根据相关通知，支持工业企业采用新技术、新产品、新技术、新材料、新模式实施全面、全过程、全产业链技术转型，通过加快技术转型，优化产品结构，提高设备水平，实现库存优化，培育和发展一批行业巨头和个人冠军，促进中小企业规模、水平，促进优势企业越来越强大。自治区本级财政对千企技改项目给予不超过10%的设备投资补贴，补贴资金不超过1000万元。

2023年第一批自治区自治区

“千企技改”项目计划如下↓↓↓

项目申报需要具备这些条件→

根据有关通知，2023年自治区“千企技术改革”项目申请需满足以下条件：

项目单位应当在广西注册，具有独立法人资格，生产经营正常，属于规模以上工业企业或者技术改造后可以达到规模以上的中小型工业企业。

项目属于2023年内在建或新开工的技术改造项目，已完成项目备案或审批手续。

项目符合国家、自治区相关产业政策和发展规划，属于产业结构调整指导目录鼓励或允许项目，符合产业链发展方向的重点发展，符合工业企业技术转型升级投资指南和国家和自治区土地、环保、节能、技术、安全生产准入标准。

固定资产投资规模在500万元以上。项目计划于2025年12月竣工投产，投产后年产值在2000万元以上。

数据图为上汽通用五菱汽车生产总装线。柳州宣传部供图

广西重点实施三个“技改”

根据相关通知，广西重点实施新产品、新技术改造升级、数字化工厂、节能专项技术改造，提升企业核心竞争力。

新产品、新技术的转型和改进。引导企业利用国内领先的新技术，完善产品线，加快产品升级，推出先进、实用、市场竞争力强、经济社会效益明显的新产品。

数字化工厂专项技术改造。引导企业通过智能化、数字化制造新模式的应用，全面实施生产线路更换、设备芯更换、机器更换，推动智能工厂和数字车间建设。

节能专项技术改造。引导钢铁、有色金属、建材、石化等重点产业工业企业采用节能、节水、循环再制造等先进技术，实施产业生态绿色转型，降低主要产品单位的能耗和关键工艺能耗。

来源|广西头条newss

责编|钟勇

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